반도체 공정 장비
Distributor - OPCsoftIndustry - 반도체 공정 Etcher 장비 적용 End User - 대외비 Integrator - 대외비Problem ( or Benefit ) - 반도체 Etcher 장비의 전력분배기 Mico Pro ON/OFF 제어를 HMI에서 처리하기 위한 솔루션 필요.- Mico Pro의 제어 신호는 20ms 펄스 유지 시 ON, 40ms 펄스 유지 시 OFF로 동작.- 하지만 HMI의 Refresh time은 100ms로 Delay가 발생해 제품 사양상 펄스 유지 방식의 ON/OFF 제어가 불가능.- 펄스유지 방식의 제어를 위한 펄스모듈 추가시 과도한 비용 상승으로 인해 가격경쟁력 떨어짐. Solution- 크래비스 소형 PLC 프로그래머블 IO를 이용해 Mico Pro의 ON/OFF 신호를 제어.- HMI는 프로그래머블 IO의 레지스터를 이용해 ON/OFF 신호를 발생시켜 Refresh time delay로 인한 문제 해결. Results - 기존 PLC를 이용해 제어하던 시스템을 크래비스 프로그래머블 IO 및 HMI로 대체하며 원가 절감 및 손쉬운 유저 인터페이스를 구현.Project Info- 프로그래머블 IO : 자유롭게 프로그래밍이 가능한 소형 PLC [ FnIO G-Series 프로그래머블IO 라인업 ]COPYRIGHT ⓒ 2021 by CREVIS CO., LTD. ALL RIGHT RESERVED
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